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現(xiàn)貨介紹Osaka Vacuum（大阪真空）TG3413油潤滑復(fù)合分子泵

更新時(shí)間：2026-01-05點(diǎn)擊次數(shù)：64
TG3413 是日本 Osaka Vacuum（大阪真空）推出的油潤滑復(fù)合分子泵，屬于 TG 系列，具備高真空排氣能力，適配半導(dǎo)體制造、FPD 生產(chǎn)、表面處理等場(chǎng)景，還擁有耐大氣突入與外部沖擊、支持串行通信等特點(diǎn)，符合 NRTL/SEMI - S2 安全規(guī)范。以下是其詳細(xì)介紹：

核心參數(shù)

參數(shù)詳情
進(jìn)氣口法蘭VG350
排氣速度N?：3400L/s（帶保護(hù)網(wǎng) 3200L/s）；H?：2600L/s
大壓縮比N?：1×10?；H?：6×103
極限壓力＜1×10??Pa（＜7.5×10??Torr）
大 N?流量543sccm（輔助泵 3000L/min 時(shí)）
啟動(dòng) / 停止時(shí)間啟動(dòng) 10-15min；停止 25-30min
允許背壓270Pa/2Torr
推薦前級(jí)泵1500L/min
潤滑油量260mL
安裝姿勢(shì)垂直（±10°）
重量100kg
適配控制器TC3213（單相 200-230VAC，功率 2200VA，輸出 360Hz，重 8.2kg）

產(chǎn)品特點(diǎn)

  1. 雙版本可選：有標(biāo)準(zhǔn)型與耐腐蝕性氣體的化學(xué)型，適配不同氣體環(huán)境。

  2. 結(jié)構(gòu)堅(jiān)固：耐受意外大氣沖擊與外部機(jī)械沖擊，工業(yè)環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)。

  3. 智能互聯(lián)：支持串行通信，可遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集，便于集成到自動(dòng)化系統(tǒng)。

  4. 安全合規(guī)：滿足 NRTL/SEMI - S2 標(biāo)準(zhǔn)，保障半導(dǎo)體等精密制造場(chǎng)景的安全運(yùn)行。

典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造、FPD 面板生產(chǎn)、電子槍 / 離子源排氣

  • 表面處理與改性、電子部件制造、真空熱處理

  • 加速器、核聚變研究等科研領(lǐng)域

  • 管球、光學(xué)部件制造


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